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原來三維表面形貌測量儀還可以應(yīng)用在這些領(lǐng)域中

更新時間:2022-07-08      點擊次數(shù):1602
  隨著半導(dǎo)體技術(shù)的電子技術(shù)工藝的發(fā)展,電子產(chǎn)品都往小型化,輕薄化發(fā)展。iWatch的一經(jīng)推出,穿戴電子產(chǎn)品成為了一個新的電子設(shè)備應(yīng)用潮流。隨著電子產(chǎn)品的小型化,器件體積越做越小,空間就緊湊起來,這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰(zhàn)。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸,現(xiàn)在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米級別,這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產(chǎn)品質(zhì)。
 
  三維表面形貌測量儀應(yīng)運而生,這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術(shù),能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結(jié)構(gòu),對肉眼不可見的結(jié)構(gòu)缺陷都能準(zhǔn)確檢測。因為具有較快的掃描速度,微米級別的精度和較強的穩(wěn)定性,一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃,半導(dǎo)體缺陷檢測和多層光學(xué)薄膜厚度檢測,就是這款產(chǎn)品的主要應(yīng)用領(lǐng)域。

  三維表面形貌測量儀的主要應(yīng)用:
  1、3D玻璃缺陷檢測;
  2、半導(dǎo)體表面缺陷測試;
  3、多層薄膜厚度測試;
  4、精密部件3D尺寸及段差測試;
  5、精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試。
 
  產(chǎn)品特性:
  1、采用白光共聚焦色差技術(shù),可獲得納米級的分辨率;
  2、測量具有非破壞性,測量速度快,精確度高;
  3、測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料;
  4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面;
  5、不受樣品反射率的影響;
  6、不受環(huán)境光的影響;
  7、測量簡單,樣品無需特殊處理。
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